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micro mechanical systems
T. Fukuda (Autor)
·
elsevier science & technology
· Libro Físico
micro mechanical systems - t. fukuda
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Reseña del libro "micro mechanical systems"
divided into ten sections, this book describes the principles and technology of micro mechanical systems. it also provides an introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing microphysics and design and the evolution from microcomponents to microsystems.
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