Name: chemical-mechanical polishing of low dielectric constant polymers and organosilicate glasses: fundamental mechanisms and application to ic interconnec (en Inglés)
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Author: petkow-dimitrow, pawe c.
ISBN: 9781402071935

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portada chemical-mechanical polishing of low dielectric constant polymers and organosilicate glasses: fundamental mechanisms and application to ic interconnec (en Inglés)

chemical-mechanical polishing of low dielectric constant polymers and organosilicate glasses: fundamental mechanisms and application to ic interconnec (en Inglés)

Formato

Libro Físico

Editorial

springer

Autor

petkow-dimitrow, pawe c.

Año

2002

Idioma

Inglés

N° páginas

248

ISBN

1402071930

ISBN13

9781402071935

Categorías

Ingeniería eléctrica

chemical-mechanical polishing of low dielectric constant polymers and organosilicate glasses: fundamental mechanisms and application to ic interconnec (en Inglés)

Petkow-Dimitrow, Pawe C. (Autor) · springer · Libro Físico

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