Compartir
Wlaściwości elektryczne i mechaniczne cienkich warstw mezoporowatej krzemionki (en Polaco)
Amit Pratap Singh
(Autor)
·
Wydawnictwo Nasza Wiedza
· Tapa Blanda
Wlaściwości elektryczne i mechaniczne cienkich warstw mezoporowatej krzemionki (en Polaco) - Singh, Amit Pratap
Libro Nuevo
Importado
Envío: 19 a 23 días háb.
76,19 €68,57 €
Reseña del libro "Wlaściwości elektryczne i mechaniczne cienkich warstw mezoporowatej krzemionki (en Polaco)"
Cienkie warstwy mezoporowatej krzemionki (MPS) są atrakcyjne do zastosowania jako nisko-κ dielektryk międzywarstwowy (ILD) w ukladach scalonych. Jednakże folie te są podatne na niestabilności w zachowaniu elektrycznym spowodowane absorpcją wody i dyfuzją miedzi. W niniejszej pracy omówiono niestabilności elektryczne, chemiczne i termiczne, dyfuzję Cu oraz adhezję tych materialów w celu oceny i umożliwienia ich wykorzystania w przyszlości jako ILD w okablowaniu urządzeń. Stabilnośc termiczna grup funkcyjnych i adhezja tych filmów z Cu są również kluczowymi pytaniami dla integracji tych dielektryków w rzeczywistych urządzeniach. Staramy się odpowiedziec na te pytania dla kilku rodzajów funkcjonalnych folii MPS. Struktura porów jest kolejnym kluczowym parametrem w definiowaniu mechanicznych i elektrycznych wlaściwości folii MPS. W niniejszej pracy do większości badań wykorzystaliśmy folie MPS o porach w ksztalcie kostki 3D. Różnice we wlaściwościach folii MPS z porami zorientowanymi równolegle do podloża (2D-heksagonalne) i folii MPS z porami o ksztalcie sześciennym (3D-kubiczne) są omówione pod koniec pracy. Podsumowując, praca ta pokazuje możliwości dostosowania wlaściwości elektrycznych i mechanicznych dielektryków MPS o niskim wspólczynnikuκ do przyszlych zastosowań.
- 0% (0)
- 0% (0)
- 0% (0)
- 0% (0)
- 0% (0)
Todos los libros de nuestro catálogo son Originales.
El libro está escrito en Polaco .
La encuadernación de esta edición es Tapa Blanda.
✓ Producto agregado correctamente al carro, Ir a Pagar.