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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf (IPA-IAO - Forschung und Praxis)
Oliver Morlok (Autor)
·
Springer
· Tapa Blanda
Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf (IPA-IAO - Forschung und Praxis) - Oliver Morlok
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