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MEMS-Technologie: Ein Ansatz zur Herstellung von dünnen elektrostatischen Linsen (en Alemán)
Anjli Sharma
(Autor)
·
Sanjeev K. Kanth
(Autor)
·
Ho Seob Kim
(Autor)
·
Verlag Unser Wissen
· Tapa Blanda
MEMS-Technologie: Ein Ansatz zur Herstellung von dünnen elektrostatischen Linsen (en Alemán) - Sharma, Anjli ; Kanth, Sanjeev K. ; Kim, Ho Seob
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Reseña del libro "MEMS-Technologie: Ein Ansatz zur Herstellung von dünnen elektrostatischen Linsen (en Alemán)"
Seit der Entdeckung der Mikrosäule durch Chang im Jahr 1980 ist das Interesse an miniaturisierten Mikrosäulen aufgrund ihrer vielfältigen Einsatzmöglichkeiten wie direkte E-Beam-Lithographie, kostengünstige Geräte, Niederspannungs-SEM und tragbare SEM aufgrund ihrer hohen Durchsatzleistung immens. Die kompakte Grö e ermöglicht es, Mikrosäulen in Array-Form zusammenzusetzen, was die Abbildungsleistung oder den Durchsatz der Lithografie-Fähigkeit erheblich verbessert. Wir haben drei verschiedene Designs von Mikrosäulen hergestellt und untersucht, die alle die modifizierte Quelllinse, verschiedene Arbeitsabstände sowie mit und ohne Objektivlinse verwenden. Die Bildqualität und der Sondenstrom aller neu hergestellten Mikrosäulen wurden untersucht. Die elektrostatischen Linsen wurden mit Hilfe der MEMS-Technik hergestellt. Der 2D-CNT-Feldemitter wurde als Quellenemitter für diese Säulen verwendet. Unsere Ergebnisse zeigten, dass von allen drei Mikrosäulenstrukturen die ultraminiaturisierte Mikrosäule den höchsten Sondenstrom ( 9,5 nA) aufwies. Eine ultraminiaturisierte Mikrosäule kann ein vielversprechender Kandidat für die nächste Generation von Lithographie-Werkzeugen sein, da das Design für integrierte Mikrosäulen im Wafer-Ma stab besser geeignet ist als herkömmliche Mikrosäulen.
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El libro está escrito en Alemán.
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